透過型電子顕微鏡による加工の評価
透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope：TEM）は電子顕微鏡の一種で、薄片化した試料に電子線を入射させ、透過した電子や散乱された電子を目的に応じて選択しその像を観察する顕微鏡である。サブnm の空間分解能を有することから格子欠陥や結晶構造の直接観察に用いられる。電子は試料を透過する必要があるため、試料は収束イオンビームやイオンミリングを用いて観察希望箇所を100 nm 以下に薄くしなければならない。図１はTEM の概念図である。
図１ 透過型電子顕微鏡の概念図
