加工用レーザーの種類と特性
| 相状態 | レーザー媒質 | 発振波長(μｍ) | 発振形態 | 出力 |
|---|---|---|---|---|
| 気体 | CO2レーザー | 1.06 | CW,pulse | 20～50kW(CW) |
| エキシマレーザー ArF KrF XeCl |
0.193 0.248 0.308 |
pulse | 600mJ 1,200mJ 1J(@600Hz) |
|
| 固体 (結晶) |
Nd:YAGレーザー Nd:YVO4レーザー チタンサファイアレーザー |
1.064 1.064 800 |
CW pulse pulse pulse |
10kW(CW) Pave=2kW Pave=40W 1～2W(@ 1kHz) |
| 固体 (ファイバ) |
ファイバーレーザー Ndファイバーレーザー Erファイバーレーザー Ybファイバーレーザー |
1.064 1.500 1.040～1.100 |
CW,pulse | 1kW(CW) 数100W(CW) 1～20kW(CW) |
| 固体 (半導体) |
半導体レーザー AlGaAs AlGaAsアレイ InGaAsP |
0.750～0.905 0.790～0.850 1.100～1.600 |
CW,pulse |
1～3W (シングルエミッタ) |
| 液体 | 色素レーザー | 0.320～1,260 | CW,pulse | 数W＜1J |
参考文献
- 絵ときレーザー加工基礎の基礎、新井武二
- レーザー加工の基礎、渡部武弘、レーザーEXPO特別技術セミナー資料
- 実用レーザー加工技術、横谷篤至、レーザーEXPO特別技術セミナー資料
- エキシマレーザーによる表面加工、ラルフ・デルムダール、Industrial Laser Solution for manufacturing Japan.
